한양대, 반도체 제조 '스마트반도체나노팹 클린룸' 구축

 

'한양스마트반도체나노팹 클린룸' 준공식에 참여한 관계자들이 기념 촬영하고 있다. 사진 한양대 *재판매 및 DB 금지

[서울=뉴시스]허서우 인턴 기자 = 한양대는 반도체 분야 선도 기관으로 도약하기 위해 '한양스마트반도체나노팹 클린룸' 준공식을 개최했다고 30일 밝혔다.

지난 27일 서울캠퍼스에서 진행된 준공식에는 김종량 한양학원 이사장, 김우승 총장, 안진호 원장을 비롯해 ㈜원방테크 구자겸 회장, 정우현 부회장 등 주요 관계자들이 참석했다.

클린룸은 미세한 먼지를 비롯한 기온, 습도, 기류 기압 등 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는 요소들이 일정 규격에 맞게 관리되는 공간이다. 노광장비, 증착장비, 식각장비, 열처리장비 등 핵심 반도체 공정 장비가 설치될 예정이다. 

구자겸 NVH코리아(주) 겸 ㈜원방테크 회장은 한양대 기계공학부 동문으로서 모교의 클린룸 구축을 위해 공조 시설과 전등, 전열 및 자동제어 시스템 등 약 17억원 상당의 현물을 기부했다.

안진호 원장은 "신설된 클린룸에서 더욱 안정적으로 반도체 관련 소자 및 신소재 연구가 진행될 것"이라며 "지속적인 교육과 연구를 통해 국가 및 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다"고 말했다.


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